二十世纪六十年代以来，cvd技术被广泛应用于硬质合金可转位刀具的表面处理。由于CVD工艺气相沉积所需金属源的制备相对容易，可实现Tin、Tic、TiCN、Tibn、Tib2、Al2O3等单层及多元多层复合涂层的沉积，涂层与基体结合强度较高，薄膜厚度可达7～9μm，因此到八十年代中后期，美国已有85%的硬质合金工具采用了表面涂层处理，其中cvd涂层占到99%；到九十年代中期，cvd涂层硬质合金刀片在涂层硬质合金刀具中仍占80%以上。

尽管CVD涂层具有很好的耐磨性，但cvd工艺亦有其先天缺陷：一是工艺处理温度高，易造成刀具材料抗弯强度下降；二是薄膜内部呈拉应力状态，易导致刀具使用时产生微裂纹；三是cvd工艺排放的废气、废液会造成较大环境污染，与目前大力提倡的绿色制造观念相抵触，因此自九十年代中期以来，高温CVD技术的发展和应用受到一定制约。八十年代末，krupp.WIDIA开发的低温化学气相沉积(pcvd)技术达到了实用水平，其工艺处理温度已降至450～650℃，有效抑制了η相的产生，可用于螺纹刀具、铣刀、模具的tin、ticn、tic等涂层，但迄今为止，pcvd工艺在刀具涂层领域的应用并不广泛。九十年代中期，中温化学气相沉积(mt-cvd)新技术的出现使cvd技术发生了革命性变革。mt-cvd技术是以含c/n的有机物乙腈(ch3cn)作为主要反应气体、与ticl4、H2、N2在700～900℃下产生分解、化学反应生成ticn的新工艺。采用mt-cvd技术可获得致密纤维状结晶形态的涂层，涂层厚度可达8～10μm。这种涂层结构具有极高的耐磨性、抗热震性及韧性，并可通过高温化学气相沉积(ht-cvd)工艺在刀片表面沉积al2o3、tin等抗高温氧化性能好、与被加工材料亲和力孝自润滑性能好的材料。

mt-cvd涂层刀片适于在高速、高温、大负荷、干式切削条件下使用，其寿命可比普通涂层刀片提高一倍左右。目前，cvd(包括mt-cvd)技术主要用于硬质合金车削类刀具的表面涂层，涂层刀具适用于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。采用CVD技术还可实现α-Al2O3涂层，这是pvd技术目前难以实现的，因此在干式切削加工中，CVD涂层技术仍占有极为重要的地位。最常用的涂层：TiN，涂层颜色为金黄色，适合于加工低合金钢和不锈钢；TiCN(碳氮化钛)，涂层颜色为灰色，硬度比TiN要高，耐磨性更好，其进给速度和切削速度分别较TiN高出40%和60%；TiAlN，涂层为灰色或黑色，主要涂在硬质合金刀具基体表面。